薄膜电晶体、画素结构及其制造方法

摘要

一种薄膜电晶体的制造方法包括下列步骤：首先，于基板上形成一源极。接着，形成一第一绝缘图案层，以覆盖部分源极与基板。第一绝缘图案层具有一暴露出部分源极之开口。然后，于第一绝缘图案层上形成一闸极图案层。之后，于闸极图案层上形成一第二绝缘图案层，闸极图案层与第二绝缘图案层围绕开口。接着，于开口内之闸极图案层侧缘上形成一第二侧护壁。然后，于开口内形成一通道层，覆盖第二侧护壁与源极。之后，于通道层与第二绝缘图案层上形成一具有接触窗开口之保护层，以暴露出部分通道层。接着，于暴露出之通道层上形成一汲极。

主权项

一种薄膜电晶体的制造方法，包括：提供一基板；于该基板上形成一源极；形成一第一绝缘图案层，以覆盖部分之该源极与该基板，其中该第一绝缘图案层具有一覆盖层与一第一侧护壁，该第一侧护壁延伸于该源极两侧之基板上，该覆盖层覆盖部分之该源极，且该覆盖层与该第一侧护壁形成一暴露出部分该源极之开口；于该第一绝缘图案层上依序形成一闸极图案层及一第二绝缘图案层，该闸极图案层与该第二绝缘图案层围绕该开口；于该开口内之该闸极图案层侧缘上形成一第二侧护壁；于该开口内形成一通道层，覆盖该第二侧护壁与该源极；于该通道层与该第二绝缘图案层上形成一保护层，其中该保护层具有一接触窗开口，以暴露出部分之该通道层；以及于暴露出之该通道层上形成一汲极。