黏着薄膜的装置

摘要

本发明提供一种黏着薄膜的装置。装置包括光罩固持器，光罩固定至光罩固持器；薄膜门传送单元，其包括用以将薄膜黏着至光罩的薄膜门；后门传送单元，其经安置以面向以光罩固持器为中心之薄膜门传送单元，后门传送单元将光罩固持器推向薄膜门传送单元以将薄膜黏着至光罩；操作单元，其操作光罩固持器、薄膜门传送单元，以及后门传送单元；控制器，其控制操作单元以便控制薄膜门传送单元以及后门传送单元之移动速度以及光罩之加压位凖；以及扫描单元，其安置于薄膜门传送单元上以面向光罩固持器，扫描单元扫描形成于光罩上之步进机对凖键或特定图案且将键或图案之位置资讯发送至控制器。

主权项

一种将薄膜黏着至光罩的装置，所述装置包含：光罩固持器，所述光罩固定至光罩固持器；薄膜门传送单元，其包括用以将所述薄膜黏着至所述光罩的薄膜门；后门传送单元，其经安置以面向以所述光罩固持器为中心之所述薄膜门传送单元，所述后门传送单元将所述光罩固持器推向所述薄膜门传送单元以将所述薄膜黏着至所述光罩；操作单元，其操作所述光罩固持器、所述薄膜门传送单元，以及所述后门传送单元；控制器，其控制所述操作单元以便控制所述薄膜门传送单元以及所述后门传送单元的移动速度以及所述光罩的加压位凖；以及扫描单元，其安置于所述薄膜门传送单元上以面向所述光罩固持器，所述扫描单元扫描形成于所述光罩上之步进机对凖键或特定图案且将所述键或所述图案的位址资讯发送至所述控制器，其中，所述控制器即时校正所述光罩上之步进机对凖键与所述薄膜之间的间隔。