树脂膜的形成方法及装置

摘要

交替地多次进行通过高速旋转而使供给到光盘等的基板之间的内周侧的粘接剂等液状物质或供给到基板上的内周侧的液状物质延展的工序和使其低速旋转的工序，并且在低速旋转时从内周侧向外周侧依次连续地或间歇性地移动着照射光线，从而从内周侧依次使液状物质半硬化或硬化。由此，从内周侧向外周侧阶段性地确定由液状物质形成的树脂膜的厚度。

主权项

一种树脂膜的形成方法，其特征在于，包括：向基板的内周侧供给液状物质的工序；和交替地进行通过高速旋转所述基板而使所述液状物质延展的工序和使所述基板以低于所述高速旋转速度的速度低速旋转的工序的工序；通过使照射区域从所述内周侧向外周侧阶段性地移动，并在所述低速旋转时进行光照，使所述液状物质从所述基板的内周侧向外周侧依次半硬化或硬化的工序，所述液状物质为供给到透明的第一基板和第二基板之间的、通过透过所述基板进行所述光照而形成厚度大致均匀的粘接层的粘接剂，或者，所述液状物质由在所述基板上形成厚度大致均匀的透光保护层的透明的合成树脂材料形成。