| 发明名称 |
Electron beam observation device using a pre-specimen magnetic field as image-forming lens and specimen observation method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2091063(A3) |
申请公布日期 |
2010.04.21 |
| 申请号 |
EP20080019777 |
申请日期 |
2008.11.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. |
发明人 |
KASAI, HIROTO;HARADA, KEN |
| 分类号 |
H01J37/26;H01J37/141;H01J37/20 |
主分类号 |
H01J37/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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