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发明名称
DIFFUSIE-OVEN EN WERKWIJZE VOOR HET PRODUCEREN VAN EEN GASSTROMING.
摘要
申请公布号
NL1036234(C)
申请公布日期
2010.04.16
申请号
NL20081036234
申请日期
2008.11.25
申请人
VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH,
发明人
WILLKOMMEN, UDO;DUTKOWAIK, ANDREAS;KOECKERT, CHRISTOPH
分类号
C23C16/455;C23C16/52;C30B31/16;H01L21/02
主分类号
C23C16/455
代理机构
代理人
主权项
地址
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