发明名称 POLIERZUSAMMENSETZUNG UND POLIERVERFAHREN
摘要
申请公布号 AT463838(T) 申请公布日期 2010.04.15
申请号 AT20040788401T 申请日期 2004.09.30
申请人 FUJIMI INCORPORATED 发明人 MATSUDA, TSUYOSHI;HIRANO, TATSUHIKO;OH, JUNHUI;KAWAMURA, ATSUNORI;SAKAI, KENJI
分类号 B24B37/00;H01L21/304;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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