发明名称 ELECTROMAGNETIC RADIATION DETECTOR WITH MICRO-ENCAPSULATION, AND DEVICE FOR DETECTING ELECTROMAGNETIC RADIATION USING SUCH DETECTORS
摘要 Ce détecteur de rayonnement électromagnétique est constitué d'une pluralité de microsites de détection élémentaires comprenant chacun un micro-détecteur muni d'une membrane (2) sensible au rayonnement considéré, et reçu chacun dans une microcavité ou microcapsule, définie par un substrat (1), par une paroi supérieure (5) faisant fonction de fenêtre transparente audit rayonnement et par des cloisons latérales (4), ladite membrane (2) étant suspendue au dessus du substrat (1) au moyen d'au moins deux bras de soutien (6) comportant une couche (17) électriquement conductrice, les extrémités desdits bras (6) étant ancrées dans les cloisons latérales (4).
申请公布号 CA2732448(A1) 申请公布日期 2010.04.15
申请号 CA20092732448 申请日期 2009.10.06
申请人 ULIS 发明人 VILAIN, MICHEL
分类号 G01J5/20;H01L31/0203 主分类号 G01J5/20
代理机构 代理人
主权项
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