发明名称 可编程电阻存储器及其制造方法
摘要 本发明公开一种集成电路非易失性存储器,其使用可编程电阻元件。在某些实施例中,准备如电极等的导电结构,且可编程电阻元件位于这些预先准备的电极之上。此种方式防止了可编程电阻元件受到先前工艺步骤的污染。
申请公布号 CN101000892B 申请公布日期 2010.04.14
申请号 CN200710001813.2 申请日期 2007.01.05
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 何家骅
分类号 H01L21/82(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L27/24(2006.01)I;H01L27/10(2006.01)I;H01L27/115(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;G11C13/00(2006.01)I;G11C11/56(2006.01)I;G11C16/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/82(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 韩宏
主权项 一种形成具有非易失性存储单元集成电路的方法,包括:形成行存取电路,以存取特定非易失性存储单元,包括:形成导电行以沿着各行存取该非易失性存储单元;以及形成列存取电路,以存取特定非易失性存储单元,包括:形成导电列以沿着各列存取该非易失性存储单元;以及接着形成所述非易失性存储单元的可编程电阻元件,以利用每个所述导电行与导电列而电连接每个该可编程电阻元件,其中,所述可编程电阻元件垂直地位于所述导电行与所述导电列之上。
地址 中国台湾新竹科学工业园区