用于电润湿显示装置的薄膜晶体管及制造方法

摘要

本发明公开了用于电润湿显示装置的薄膜晶体管及制造方法。该薄膜晶体管包括基板、底部导电膜层、第一绝缘膜层、半导体非晶硅膜层、第二导电膜层、第二绝缘层、第四导电膜层及有机流平膜层；底部导电膜层设在基板上；第一绝缘膜层覆盖在底部导电膜层上方；半导体非晶硅膜层覆盖在第一绝缘膜层上；第二导电膜层部分覆盖在半导体非晶硅膜层上，第二层绝缘膜层覆盖在第一绝缘膜层、半导体非晶硅膜层、第二导电膜层的上方；有机流平膜层覆盖在第二绝缘层上；第四导电膜层覆盖在有机流平膜层上。与现有技术比较，其有益效果是：有机流平膜层的增加，提高反应速度；漏极和公共电极都通过导电膜层连接到同一平面，使反应速度加快；提高产品开口率。

主权项

一种用于电润湿显示装置的薄膜晶体管，包括：基板、底部导电膜层、第一绝缘膜层、半导体非晶硅膜层、第二导电膜层、第二绝缘层及第四导电膜层；底部导电膜层设在基板上，其作为栅极、栅极布线及公共电极的导电膜层；第一绝缘膜层，其覆盖在底部导电膜层的上方；所述的半导体非晶硅膜层覆盖在第一绝缘膜层上；所述的第二导电膜层作为源极和漏极的导电膜层，所述的第二导电膜层部分覆盖在所述的半导体非晶硅膜层上；所述的第二层绝缘膜层覆盖在所述的第一绝缘膜层、所述的半导体非晶硅膜层、所述的第二导电膜层的上方；所述的第四导电膜层作为像素电极和保持电极的导电膜层；其特征在于：还进一步包括有机流平膜层，所述的有机流平膜层覆盖在第二绝缘层上。