用于在分时多工的蚀刻制程中之制程控制的方法

摘要

本发明系提供一种用于在分时多工的制程期间控制室内压力的方法。节流阀系根据该分时多工的蚀刻制程的至少一个步骤中之开回路的压力控制演算法来加以定位。该步骤的压力响应系被评估并且和一个所要的压力响应做比较。于是，该节流阀在该分时多工的蚀刻制程步骤到步骤的根据该所要的压力响应之评估，透过一个比例积分微分控制器来加以定位。

主权项

一种用于在一蚀刻制程期间控制一室内的压力之方法，该方法系包括：将一基板设置在该室中；在该室中执行一分时多工的蚀刻制程；在该分时多工的蚀刻制程的至少一个步骤中，根据一开回路的压力控制演算法来定位一节流阀，该节流阀系藉由该开回路的压力控制演算法而被保持在一固定的位置中且该节流阀系根据一个时间的函数而藉由该开回路的压力控制演算法来加以定位；在该分时多工的蚀刻制程的步骤到步骤中，根据一闭回路的压力控制演算法来定位该节流阀；以及从该室移去该基板。