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摘要
申请公布号
DE102006058814(B4)
申请公布日期
2010.04.08
申请号
DE200610058814
申请日期
2006.12.13
申请人
TAIWAN SEMICONDUCTOR MFG. CO. LTD.
发明人
YU, CHEN-HUA;TSAI, MING-HSING;HSIAO, YI-LI
分类号
H01L21/67;C23C16/00;H01L21/00;H01L21/28
主分类号
H01L21/67
代理机构
代理人
主权项
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