发明名称 Bearbeitungsvorrichtungen
摘要
申请公布号 DE102006058814(B4) 申请公布日期 2010.04.08
申请号 DE200610058814 申请日期 2006.12.13
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MFG. CO. LTD. 发明人 YU, CHEN-HUA;TSAI, MING-HSING;HSIAO, YI-LI
分类号 H01L21/67;C23C16/00;H01L21/00;H01L21/28 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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