METHOD AND SYSTEM FOR NON-DESTRUCTIVE DETECTION OF COATING ERRORS

摘要

Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren und eine Messanordnung (1) zur zerstörungsfreien Detektion von Beschichtungsfehlern bei einer elektrisch leitfähigen Substratschicht (4), die mit mindestens einer elektrisch isolierenden Deckschicht (5) beschichtet ist. Über eine Signaleinkoppeleinrichtung (4) wird ein Einkoppelsignal induktiv oder kapazitiv in die elektrisch leitfähige Substratschicht (4) eingekoppelt. Über eine Signalauskoppeleinrichtung (3) wird ein Messsignal aus der Substratschicht (4) über die Deckschicht (5) ausgekoppelt. Eine Auswerteeinheit (6) dient zum Auswerten des ausgekoppelten Messsignals. Dabei wird ein Beschichtungs fehler detektiert, wenn eine Signalparameteränderung eines Signalparameters des ausgekoppelten Messsignals einen einstellbaren Schwellenwert überschreitet.