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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung einer Halbleiterscheibe durch Ätzen
摘要
申请公布号 DE102006022093(B4) 申请公布日期 2010.04.08
申请号 DE20061022093 申请日期 2006.05.11
申请人 SILTRONIC AG 发明人 FEIJOO, DIEGO;WAHLICH, REINHOLD;RIEMENSCHNEIDER, OLIVER
分类号 C30B33/10;H01L21/306 主分类号 C30B33/10
代理机构 代理人
主权项
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