可直角转向输送基板的基板输送装置

摘要

本发明涉及一种在基板处理线之间直角输送基板的基板输送装置，该装置安装在基板处理线的直角转向部中，其包括：框架部，具有相互对置的二框架，而其中一框架铅直方向上的位置高于另一侧框架铅直方向上的位置；转动辊部，可转动地安装于上述框架部上，并用于输送基板；辊驱动部，一体安装于上述框架部上，为输送基板向转动辊部施加转动力并控制转动速度；框架驱动部，可转动地结合于上述框架部的底部，当基板以倾斜状态搬送到上述框架部上时，直角转动上述框架部，并从另一侧输出基板。

主权项

一种基板输送装置，该装置安装在直角转向部中，其特征在于，包括：框架部，具有相互对置的二框架，而其中一框架铅直方向上的位置高于另一侧框架铅直方向上的位置；转动辊部，可转动地安装在上述框架部上，并用于输送基板；辊驱动部，连接在上述框架部上，且为输送基板而向转动辊部施加转动力并用于控制转速；框架驱动部，结合于上述框架部的底部，当基板以倾斜状态搬入到上述框架部时，可直角转动上述框架部，并从另一侧搬出基板；上述框架部，由相对置且相互平行的一对框架构成，而且安装在一对框架上的转动辊部，其一侧高于另一侧而使之倾斜。