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发明名称 Positioniereinrichtung zum Positionieren einer Blende in einem lonenstrahl
摘要
申请公布号 DE502007002871(D1) 申请公布日期 2010.04.01
申请号 DE200750002871T 申请日期 2007.08.07
申请人 MICRONAS GMBH 发明人 KIENLEN, GABRIEL
分类号 H01J37/02 主分类号 H01J37/02
代理机构 代理人
主权项
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