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发明名称 Konfigurierbarer Prober zum Testen eines TFT LCD Arrays
摘要
申请公布号 DE102005032520(B4) 申请公布日期 2010.04.01
申请号 DE200510032520 申请日期 2005.07.12
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 BRUNNER, MATTHIAS;KURITA, SHINICHI;SCHMID, RALF;ABBOUD, FAYEZ E.;JOHNSTON, BENJAMIN;BOCIAN, PAUL;BEER, EMANUEL
分类号 G01R31/28;G01R31/302;G01R31/26;G01R31/305;G02F1/13;G09G3/00;H01L21/66;H01L21/687;H01L27/12 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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