移动体装置

摘要

于投影单元(PU)的+X，-X侧，分别将多个Z读头(76，74)以Y标尺的有效宽度的一半以下的间隔(WD)与X轴平行地排列成随时有各两个Z读头成对对向于晶片载台上的一对Y标尺(反射面)。同时对向于Y标尺的两个Z读头所构成的读头对中的优先读头的测量值，在优先读头的测量值因附着于标尺表面的杂质等导致异常的情形时，使用另一读头的测量值，而可稳定且高精度地测量载台在至少Z轴方向的位置信息。

主权项

1.一种移动体装置，包含实质沿既定平面移动的移动体，其特征在于，具备：反射面，配置于所述移动体与移动体外部中的一方，以与所述既定平面平行的面内的第1方向为长边方向，且于与所述第1方向正交的第2方向具有既定宽度；测量装置，具有配置于所述移动体的移动区域的多个测量点，设定成所述多个测量点中的n点以上位于所述反射面上的既定宽度内，且在所述移动体位于既定位置时所述多个测量点中的n+1点以上位于所述反射面上的所述既定宽度内，通过对配置于所述既定宽度的反射面上的测量点照射测量光，测量所述移动体在与所述既定平面正交的第3方向的位置信息，其中，n为2以上的整数；以及控制装置，用于优先使用位于所述反射面的所述既定宽度内的n点以上的测量点、或在所述移动体位于所述既定位置时位于所述反射面的既定宽度内的所述n+1点以上的测量点中，包含在第1测量点的测量信息的第1测量信息进行所述移动体的位置控制，且在位于所述反射面的所述既定宽度内的测量点的测量信息因所述反射面异常而产生异常时，将优先使用于所述移动体的位置控制的测量信息，切换成包含在与所述第1测量点不同的第2测量点的测量信息的第2测量信息。