电子部件的安装状态检查方法、电子部件的安装状态检查装置以及电子设备的制造方法

摘要

本发明提供一种电子部件的安装状态检查方法、电子部件的安装状态检查装置以及电子设备的制造方法，可靠地进行使用各向异性导电膜安装在透明衬底上的电子部件的安装状态的自动的好坏判定。在电子部件的安装状态检查方法中，从安装有电子部件的面的背面一侧将隔着各向异性导电膜安装有电子部件的透明衬底用微分干涉显微镜映出并拍摄，从所拍摄的图像中，使用预先登录的电极的形状检测设置在透明衬底上的电极的位置，对形成在该电极上的凸状部的图像进行处理，从而判定是否有异物。

主权项

1.一种电子部件的安装状态检查方法，其特征在于，具备：从安装有上述电子部件的面的背面一侧将隔着各向异性导电膜安装有电子部件的透明衬底用微分干涉显微镜映出并拍摄的步骤；从所拍摄的图像中，对于设置在上述透明衬底上的电极的位置，使用预先登录的上述电极的形状进行检测的步骤；当对形成在检测出的上述电极上的凸状部的图像的浓淡值进行了二值化的情况下，当阈值以上的部分的面积大于等于设定值的情况下判定为有异物的步骤；当对形成在检测出的上述电极上的凸状部的图像的浓淡值进行了二值化的情况下，当阈值以下的部分的面积大于等于设定值的情况下判定为有异物的步骤；在对形成在上述电极上的上述凸状部实施了强调边缘的拉普拉斯算子滤波处理后，当对除去了因被上述各向异性导电膜中的导电性粒子按压而形成的上述凸状部后的图像的浓淡值进行了二值化时，当阈值以下的部分的面积大于等于设定值的情况下判定为有异物的步骤；以及在上述微分干涉显微镜的浓淡变化出现的方向上，对实施了与异物尺寸一致的微分滤波处理后的图像的浓淡值进行了二值化的情况下，当阈值以上的部分的面积大于等于设定值的情况下判定为异物的步骤。