| 发明名称 | 光学位置测量装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种光学位置测量装置，用于检测扫描单元与至少在一个测量方向上相对于该扫描单元可移动的刻度尺的相对位置。刻度尺M被构建成组合的结构单元，其具有至少一个反射器元件及测量刻度。光源及一个或多个探测器元件被分配给扫描单元。扫描单元具有分裂器，其在测量方向上将由光源发射的光线束分成至少两束部分光线束，其在分裂后沿刻度尺方向传播。 | ||
| 申请公布号 | CN101688795A | 申请公布日期 | 2010.03.31 |
| 申请号 | CN200880016219.3 | 申请日期 | 2008.05.02 |
| 申请人 | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 | 发明人 | W·霍尔扎普费尔 |
| 分类号 | G01D5/347(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I | 主分类号 | G01D5/347(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 汤春龙;刘春元 |
| 主权项 | 1.一种光学位置测量装置，用于检测扫描单元(AE)及至少在一个测量方向(Mr)上相对于所述扫描单元可移动的刻度尺(Mf)的相对位置，其中，-所述刻度尺(Mf)被构建成组合的结构单元，所述结构单元具有至少一个反射器元件(R1、R2；Pr；R)及测量刻度(Gf)，以及-光源(LD)及一个或多个探测器元件(PE-1、PE0、PE+1)被分配给所述扫描单元(AE)，以及-所述扫描单元具有分裂器(Mm；Mm1、Mm2)，所述分裂器在测量方向(Mr)上将由所述光源(LD)发射的光线束分裂成至少两束部分光线束，所述部分光线束在分裂后向着所述刻度尺(Mf)方向传播。 | ||
| 地址 | 德国特劳恩罗伊特 | ||