| 发明名称 | 用水蒸气或蒸汽处理基材的方法 | ||
| 摘要 | 一种处理基材的方法，包括，一方面，将在其表面上具有物质的基材放入处理室内；导入液体处理组合物流股以冲击所述基材表面；和导入水蒸气流股以冲击所述基材表面和/或冲击所述液体处理组合物。本发明的优选方面为从基材上除去物质，优选除去光致抗蚀剂，其中所述处理组合物为包含硫酸和/或其脱水物种和前体的液体硫酸组合物。另一方面，将包含硫酸和/或其脱水物种和前体的液体硫酸组合物分配到小于所述基材整个表面的一部分基材表面上，分配的量足以处理该一部分基材表面；和将所述液体组合物暴露于水蒸气中，暴露的量足以将所述液体硫酸组合物的温度升至高于在暴露于所述水蒸气之前所述液体硫酸组合物的温度。在所述处理步骤期间，可以用水蒸气和/或任选的氮气环境来包围所述基材。 | ||
| 申请公布号 | CN101681827A | 申请公布日期 | 2010.03.24 |
| 申请号 | CN200880016565.1 | 申请日期 | 2008.05.15 |
| 申请人 | FSI国际公司 | 发明人 | J·W·巴特鲍;D·德克拉克;R·E·威廉姆森 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/306(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 柳 冀 |
| 主权项 | 1.一种处理基材的方法，包括：a)将在其表面上具有物质的基材放入处理室内；b)导入液体处理组合物流股以冲击所述基材表面；和c)导入水蒸气流股以冲击所述基材表面和/或冲击所述液体处理组合物。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达 | ||