制造磁盘用玻璃衬底的方法

摘要

在磁盘用玻璃衬底的制造中，本发明提供一种制造磁盘用玻璃衬底的方法，所述方法包括：在供应含磨料的研磨液的同时，使用由泡沫树脂制成的研磨垫对圆形玻璃衬底的主表面进行研磨的步骤，其中使用国际橡胶硬度为45 IRHD以下的由泡沫树脂制成的研磨垫作为起始研磨垫，所述硬度通过JIS K6253中规定的M法在研磨垫与浆体接触之前的干燥状态下测得，以及在对所述起始研磨垫的研磨表面进行修整处理以调节所述垫，使得开孔面积比为8％以上且开孔的平均圆等效直径为10μm以上之后开始所述研磨，由此抑制下垂在对圆形玻璃板主表面进行研磨的步骤中的增大。

主权项

1.一种制造磁盘用玻璃衬底的方法，所述方法包括：在供应含磨料的研磨液的同时，使用由泡沫树脂制成的研磨垫对圆形玻璃板的主表面进行研磨的步骤，其中使用国际橡胶硬度为45IRHD以下的由泡沫树脂制成的研磨垫作为起始研磨垫，所述硬度通过JIS K6253中规定的M法在研磨垫与浆体接触之前的干燥状态下测得，以及在对所述起始研磨垫的研磨面进行修整处理以调节所述垫，使得开孔面积比为8％以上且开孔的平均圆等效直径为10μm以上之后开始所述研磨。