发明名称 使用CNT针尖的电子柱及用于对准CNT针尖的方法
摘要 本发明涉及在包括电子发射源和透镜的电子柱结构中使用附着有一个或多个碳纳米管(CNT)的电子发射源的电子柱。更具体地,本发明涉及容易地对准碳纳米管(CNT)针尖的方法以及能够使用该方法的电子柱。
申请公布号 CN101681751A 申请公布日期 2010.03.24
申请号 CN200880017294.1 申请日期 2008.05.28
申请人 电子线技术院株式会社 发明人 金浩燮
分类号 H01J1/30(2006.01)I 主分类号 H01J1/30(2006.01)I
代理机构 北京润平知识产权代理有限公司 代理人 周建秋;王凤桐
主权项 1、一种包括电子发射源和电子透镜的电子柱,其中,所述电子发射源使用一个或多个碳纳米管(CNT)以发射电子。
地址 韩国忠清南道