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发明名称
摘要
申请公布号 JP4436466(B2) 申请公布日期 2010.03.24
申请号 JP19980178748 申请日期 1998.06.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/28;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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