三极式大气电浆产生装置

摘要

一种三极式大气电浆产生装置，其包含电浆处理室、第一电源供应器、第二电源供应器、及一接地端；藉由第一电源供应器连接第一电极，该第一电极在电浆处理室之放电气隙产生预电浆；藉由第二电源供应器连接第二电极，该第二电极在电浆处理室之放电气隙吸引预电浆中带电粒子及产生电浆，使电浆处理室中放电更加容易；如是，可扩大在大气中放电气隙及提高大气电浆密度，不但可处理较大厚度、高度材料，并可加快处理速度。

主权项

一种三极式大气电浆产生装置，其包括有：一电浆处理室，一第一电源供应器，一第二电源供应器，一反应气体控制器及一接地端；该电浆处理室，系由一第一电极，该第一电极系与一第一电源供应器结合，该第一电极表面用以产生预电浆；一第二电极，该第二电极系与一第二电源供应器结合，该第二电极表面用以吸引带电粒子及产生电浆；一共接地电极，该共接地电极系与该第一、二电源供应器及一接地端结合；复数介电质层，该介电质层系为第一电极、第二电极及共接地电极之接触面；及一反应气体控制器，该反应气体控制器加入一反应气体以产生预电浆所组成。