具晶圆感测功能之机械手臂

摘要

本创作揭露一种具晶圆感测功能的机械手臂，该机械手臂包含伸缩结构、晶圆承载单元、驱动马达以及晶圆感测模组。晶圆承载单元设置于该伸缩结构之第一端。驱动马达用以驱动该伸缩结构，进而带动晶圆承载单元进入或离开真空反应舱，晶圆感测模组包含发光元件以及光感测元件，该发光元件与该光感测元件分别设置于晶圆承载单元的两侧，光感测元件用以感测发光元件产生之光线并产生感测讯号，感测讯号对应该机械手臂之晶圆承载状态。

主权项

一种具晶圆感测功能的机械手臂，该机械手臂包含：一伸缩结构；一晶圆承载单元，设置于该伸缩结构之一第一端；一驱动马达，用以驱动该伸缩结构，进而带动该晶圆承载单元进入或离开一真空反应舱；以及一晶圆感测模组，包含一发光元件以及一光感测元件，该发光元件与该光感测元件分别设置于该晶圆承载单元的两侧，该光感测元件用以感测该发光元件产生之一光线并产生一感测讯号，该感测讯号对应该机械手臂之一晶圆承载状态。