镀膜设备

摘要

本发明涉及真空溅射镀膜设备，一种用于对工件进行镀膜的镀膜设备，其包括具有开口的第一腔体、设置在所述开口处的挡板和红外线加热单元，所述红外线加热单元设置在所述第一腔体中，所述红外线加热单元发出红外线对所述工件加热，所述挡板将所述红外线加热单元密封在所述第一腔体中，所述红外线通过所述挡板后对所述工件进行加热。红外线通过红外线穿透视窗后对工件进行加热，使得红外线加热单元不会受到其他物质的干扰、加热稳定。

主权项

1.一种镀膜设备，用于对工件进行镀膜，所述镀膜设备包括具有开口的第一腔体和红外线加热单元，所述红外线加热单元设置在所述第一腔体中，所述红外线加热单元发出红外线对所述工件加热，其特征在于：进一步包括一个设置在所述开口处的挡板，所述挡板将所述红外线加热单元密封在所述第一腔体中，所述红外线通过所述挡板后对所述工件进行加热。