胶体液流动压空化射流抛光装置及方法

摘要

胶体液流动压空化射流抛光装置及方法，它涉及一种抛光装置及方法。本发明为解决现有超光滑表面抛光方法加工效率低、成本高、工件材料适应性受限以及现有的超光滑表面抛光装置存在设备复杂、维护成本高的问题。装置：空化射流器固定在支架上，空化射流器的输入端通过管路与第一液流换向阀的出口连接。方法：一、胶体抛光液面淹没被抛光工件10～200mm；二、空化射流器的油压为0.5～15MPa；三、空化射流压力为0.5～15MPa；四、空化射流器的喷口设置在胶体抛光液中，空化射流器以15～250m/s的速度喷向工件，抛光后取出工件即为抛光工件。本发明用于光学玻璃、微晶玻璃、半导体材料及单晶材料的超精密、超光滑抛光。

主权项

1.一种胶体液流动压空化射流抛光装置，所述抛光装置包括水平工作台基座(1)、水平工作台传动机构(2)、水平移动工作台(3)、旋转工作台(4)、胶体抛光液槽(6)、垂直工作台基座(7)、垂直移动工作台(8)、垂直旋转工作台(9)、支架(10)、夹具(12)、胶体抛光液回收箱(14)、蠕动泵(15)、第一液流换向阀(16)、胶体抛光液流量计(17)、囊式蓄能装置(18)、三通(19)、第二液流换向阀(20)、压力油流量计(21)、油压调节阀(22)、高压泵(23)、压力油回收箱(24)和第三液流换向阀(25)，水平工作台传动机构(2)固定在水平工作台基座(1)上，水平移动工作台(3)和旋转工作台(4)由下至上安装在水平工作台传动机构(2)的输出端上，垂直工作台基座(7)垂直固装在水平工作台基座(1)上，垂直移动工作台(8)固定在垂直工作台基座(7)上，垂直旋转工作台(9)安装在垂直移动工作台(8)的输出端上，支架(10)固装在垂直旋转工作台(9)上，蠕动泵(15)的一端通过管路与胶体抛光液回收箱(14)连接，蠕动泵(15)的另一端通过管路与第三液流换向阀(25)的入口连接，第三液流换向阀(25)的出口分别通过管路与胶体抛光液流量计(17)的入口和胶体抛光液槽(6)连接，胶体抛光液槽(6)的出口通过管路与胶体抛光液回收箱(14)连接，胶体抛光液流量计(17)的出口通过管路与第一液流换向阀(16)的入口连接，第一液流换向阀(16)上的一个出口通过管路与囊式储能装置(18)连接，高压泵(23)的入口通过管路与压力油回收箱(24)连接，高压泵(23)的出口通过三通(19)和管路分别与压力油流量计(21)的入口和油压调节阀(22)的入口连接，油压调节阀(22)的出口通过管路与压力油回收箱(24)连接，压力油流量计(21)的出口通过管路与第二液流换向阀(20)的入口连接，第二液流换向阀(20)的出口分别通过管路与囊式储能装置(18)和压力油回收箱(24)连接，其特征在于：所述抛光装置还包括空化射流器(11)、空化射流器(11)通过夹具(12)固定在支架(10)上，空化射流器(11)的输入端通过管路与第一液流换向阀(16)的出口连接。