传动机构的表面镀膜方法

摘要

一种传动机构的表面镀膜方法，包括以下步骤：提供一传动机构；清洁该传动机构的表面；将该传动机构设置于一工作环境，在该工作环境中导入一氢气与一四甲基硅烷(Tetra-methylsilane；TMS；Si(CH₃)₄)气体，施加一功率为800～1500瓦的外加电力而在该工作环境中产生一偏压电场，以便在该传动机构的表面形成一附着膜；在附着膜的表面形成一混合膜；以及在混合膜的表面形成一非晶质类钻石(diamond-like carbon；DLC)膜，以便制成一镀膜传动机构。在混合膜中，越远离传动机构处，非晶质DLC材料的含量越高。通过本发明方法可以有效确保镀膜传动机构具备较高的表面硬度，进而提升镀膜传动机构的抗磨损能力与使用寿命。

主权项

1、一种传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：(a)提供一传动机构；(b)清洁该传动机构的表面；(c)将该传动机构设置于一工作环境中，导入一氢气与一四甲基硅烷(Tetra-methylsilane；TMS；Si(CH3)4)气体至该工作环境中，施加一外加电力而在该工作环境中产生一偏压电场，将该偏压电场的一偏压值控制在400～700伏特(V)，并将该外加电力的功率控制在800～1500瓦(W)，借以在该传动机构的表面形成一附着膜；(d)导入该氢气、该TMS气体与一烃类(hydrocarbon)气体至该工作环境中，将该偏压值控制在400～700V，并将该外加电力的功率控制在800～1500W，借以在该附着膜的表面形成一混合膜，使该混合膜含有一非晶质类钻石材料与该附着膜所含的成分，且在该混合膜中，越远离该传动机构处，该非晶质类钻石材料的含量越高；以及(e)导入该氢气、该TMS气体与该烃类气体至该工作环境中，将该偏压值控制在400～700V，并将该外加电力的功率控制在800～1500W，借以在该混合膜的表面形成一非晶质类钻石膜，进而制成一镀膜传动机构。