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发明名称 Electron beam dose control for scanning electron microscopy and critical dimension measurement instruments
摘要
申请公布号 EP0953203(B1) 申请公布日期 2010.03.17
申请号 EP19980902566 申请日期 1998.01.16
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 RICHARDSON, NEIL;ASKARY, FARID;CONCINA, STEFANO, E.;MONAHAN, KEVIN, M.;ADLER, DAVID, L.
分类号 H01J37/20;H01J37/28;H01J37/147 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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