发明名称 Method for Manufacturing SOI Wafer and SOI Wafer
摘要
申请公布号 KR100947815(B1) 申请公布日期 2010.03.15
申请号 KR20057014656 申请日期 2004.02.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/762 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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