用于树脂模造之模件，树脂模造装置及半导体元件制造方法

摘要

一种模件，包括用于容纳树脂之釜，用于容纳待树脂模造之半导体晶片之模腔，以及作为树脂通道之流槽，以供将容纳于釜中的树脂输送至模腔。设置外来物质滞留穴，其为藉由进一步挖深流槽的部分内表面所形成的凹穴。流槽磁性体，其将经由流槽输送之流体中所包含的金属外来物质，吸引及吸附至外来物质滞留穴之内表面。

主权项

一种用于树脂模造之模件，包含：一釜，用于容纳树脂；一模腔，用于容纳一树脂模造标的；一流槽，用于输送容纳于该釜中之该树脂至该模腔；一外来物质滞留穴，其系设置于接近该釜之该流槽中；以及一第一磁性体，其系设置在该外来物质滞留穴。