Messsensor, Verfahren zum Analysieren einer unpolaren Flüssigkeit, Verfahren zum Herstellen eines Messsensors

摘要

Ein Messsensor zum Analysieren einer unpolaren Flüssigkeit beinhaltet einen Feldeffekttransistor, der einen freiliegenden Gatekontakt zum Benetzen mit der unpolaren Füssigkeit aufweist, und eine elektrische Abschirmung, die den Gatekontakt umgibt und Öffnungen zum Ein- und Auslassen der unpolaren Flüssigkeit aufweist.