发明名称 | 一种平底石英坩埚 | ||
摘要 | 一种平底石英坩埚,属于坩埚炉技术领域,包括锅壁和锅底,锅壁和锅底为一整体,锅壁为圆柱形,锅底为平面形。锅壁底部和锅底相交处为圆弧形,圆弧弧度较小。本实用新型优点在于单晶硅拉制收尾前,长晶硅料在圆形坩埚底部剩余较少,节省了加工硅料,降低了生产成本;在高温加工过程中,石英坩埚内液面径向的温度、梯度改变较小或者不改变,对长晶非常有利,提高了产品质量。 | ||
申请公布号 | CN201421252Y | 申请公布日期 | 2010.03.10 |
申请号 | CN200920153986.0 | 申请日期 | 2009.05.20 |
申请人 | 余姚市晶英电弧坩埚有限公司 | 发明人 | 黄乃军;黄洁 |
分类号 | F27B14/10(2006.01)I;C30B15/10(2006.01)I | 主分类号 | F27B14/10(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 1.一种平底石英坩埚,包括锅壁和锅底,锅壁和锅底为一整体,锅壁为圆柱形,其特征在于:锅底为平面形。 | ||
地址 | 315450浙江省余姚市马渚镇东横路98号 |