遮罩组件以及镀膜机台

摘要

本发明公开了一种遮罩组件以及镀膜机台，其中的镀膜机台用以在基材上的镀膜区域上进行镀膜。此镀膜机台包括镀膜腔室、阴极载台、阳极载台以及遮罩组件(mask assembly)。镀膜腔室具有腔室开口。阴极载台配置于腔室开口以盛放靶材，而阳极载台配置于镀膜腔室内以承载基材。遮罩组件配置于腔室开口，并位于阴极载台与阳极载台之间。此遮罩组件包括遮罩本体以及挡板。遮罩本体具有开孔。基材位于遮罩本体的第一侧，而开孔暴露出镀膜区域。挡板位于开孔旁，并且立于遮罩本体背对基材的第二侧。

主权项

1、一种遮罩组件，用以在一基材上定义一镀膜区域，其特征在于，该遮罩组件包括：一遮罩本体，具有一开孔，该基材位于该遮罩本体的一第一侧，而该开孔暴露出该镀膜区域；以及一挡板，位于该开孔旁，并且立于该遮罩本体背对该基材的一第二侧。