二元光学组件横向制作装置

摘要

一种二元光学组件横向制作装置，它包括计算机、数字微镜器、树脂槽、精缩投影透镜、精密电控平台、防震平台、固化光源，其特征是固化光源照射数字微镜器，计算机连接数字微镜器，数字微镜器与树脂槽之间固定连有精缩投影透镜，树脂槽内连有精密电控平台，树脂槽安放在防震平台上。本实用新型的技术效果是：1.不存在用多个二元光学元件组装系统时的对准误差；2.采用DMD像素化图像具有微米级的精度；3.相对于激光或电子束直写法具有更经济，速度更快的优点；4.无须作多次套刻，不存在套刻的对准误差；5.不存在纵向分层时，由于树脂层表面的不平对二元光学元件工作面刻蚀带来的误差。

主权项

1、一种二元光学组件横向制作装置，它包括计算机、数字微镜器、树脂槽、精缩投影透镜、精密电控平台、防震平台、固化光源，其特征是固化光源照射数字微镜器，计算机连接数字微镜器，数字微镜器与树脂槽之间固定连有精缩投影透镜，树脂槽内置有精密电控平台，树脂槽安放在防震平台上。