一种光刻机台的光刻灯的自动置换方法和装置

摘要

一种光刻机台的光刻灯的自动置换方法和装置，其中，检测装置用于检测光刻机台使用的当前光刻灯的工作时间信息，第一比较判断装置用于比较所述工作时间信息和预定阈值，根据比较结果判断是否需要置换当前光刻灯，如需要置换当前光刻灯，则以备用光刻灯置换所述当前光刻灯。采用本发明提供的光刻灯置换装置，使光刻灯置换实现了自动化，并且更加准确和便捷。由于本发明无需关闭光刻机台，提高了光刻机台的利用率。通过本发明，可以保证及时更换光刻灯，以充分利用所述光刻灯。此外，本发明避免了由于光刻灯更换不及时而导致的光刻机台相关核心组件的损坏。

主权项

1.一种光刻机台的光刻灯的自动置换方法，其中，包括如下步骤：A.检测光刻机台使用的当前光刻灯的工作时间信息；B.比较所述工作时间信息和预定阈值，根据比较结果判断是否需要置换当前光刻灯；C.如需要置换当前光刻灯，则以备用光刻灯置换所述当前光刻灯。