METHOD FOR PRODUCING PRESSURE SENSOR ELEMENTS

摘要

Es werden Maßnahmen vorgeschlagen, durch die ein unkontrolliertes flächiges Abplatzen der Isolationsschicht beim Vereinzeln von Drucksensorelementen vermieden wird, wobei diese Drucksensorelemente ausgehend von einem Metallträger (10) hergestellt werden, in dessen Rückseite Sacköffnungen (12) zum Freilegen von Sensormembranen (11) eingebracht werden und auf dessen Vorderseite eine Isolationsschicht (14) und eine resistive Dünnschicht aufgebracht werden, bevor die Drucksensorelemente vereinzelt werden. Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, entweder die Vorderseite des Metallträgers (10) vor dem Aufbringen der Isolationsschicht (14) entsprechend den Konturen der zu vereinzelnden Drucksensorelemente zu strukturieren oder die Isolationsschicht selbst entsprechend den Konturen der zu vereinzelnden Drucksensorelemente zu strukturieren.