一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备

摘要

本发明的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，包括真空泵和通过抽气管与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐，预抽真空罐通过分抽空阀连接抽气管、通过充气阀设有进气管，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计；真空泵安装有主抽空阀。本发明的有益效果是，可以成功地将柔性带材内部的空气和挥发性气体抽出来，这样不仅可以提高真空溅射的抽空速度，降低设备能耗，提高靶材微粒附着力，改善成品浸润性，而且可以提高真空溅射的产品质量。

主权项

1、一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于：包括真空泵(1)和通过抽气管(10)与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐(2)，预抽真空罐通过分抽空阀(4)连接抽气管、通过充气阀(3)设有进气管(11)，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计(5)；真空泵安装有主抽空阀(6)。