用以在处理腔室内支撑、定位及旋转基板的设备与方法

摘要

提供支撑、定位及旋转基板的设备与方法。一实施例中，支撑基板的支撑组件包括上底板与下底板。基板浮动于上底板上方的气体薄层上。定位组件包括多个空气轴承边缘辊或气流气穴，用于以要求的方向在上底板上方内定位基板。多个斜向穿孔或气流气穴设于上底板中以让气体流过好旋转基板以确保处理过程的均匀加热。

主权项

1.一种用于基板的基板支撑组件，其至少包含：底板，设以提供第一气流来提高所述基板；温度受控的热边缘阻挡件，至少部分围绕所述基板；及用于将所述基板定位于所述温度受控的热边缘阻挡件内的装置。