发明名称
摘要 An alignment device for permitting a deposition mask having a plurality of mask segments to be positioned relative to a substrate to facilitate simultaneous deposition of organic material on to the substrate which will be part of an organic light emitting device.
申请公布号 JP4426170(B2) 申请公布日期 2010.03.03
申请号 JP20020342116 申请日期 2002.11.26
申请人 发明人
分类号 H05B33/10;C23C14/04;C23C14/24;G03F9/00;H01L51/00;H01L51/40;H01L51/50;H01L51/56 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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