发明名称 INSTALLATION DE PURIFICATION D'UN MATERIAU SEMICONDUCTEUR A TORCHE A PLASMA
摘要
申请公布号 FR2925891(B1) 申请公布日期 2010.02.26
申请号 FR20070060405 申请日期 2007.12.27
申请人 EFD INDUCTION SAS;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S.);FERROPEM 发明人
分类号 C01B33/037;C30B11/00;C30B29/06 主分类号 C01B33/037
代理机构 代理人
主权项
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