| 发明名称 |
SILICON WAFER AND METHOD OF MANUFACTURING SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2010045247(A) |
申请公布日期 |
2010.02.25 |
| 申请号 |
JP20080209036 |
申请日期 |
2008.08.14 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
OKA TETSUYA |
| 分类号 |
H01L21/322;C30B15/00;C30B29/06;C30B33/12;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/322 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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