| 摘要 |
<p>【課題】特に薄型基板とノズルなどの部材とを接触させないように、噴射された液体による薄型基板の揺れを抑え、回路の損傷を防ぐ薄型基板用湿式工程装置を提供する。【解決手段】一端に形成される入口及び他端に形成される出口と、該入口の両側近傍に設けられる２つの直立型低速噴射装置と、両側における該直立型低速噴射装置の近傍に夫々設けられる噴射装置とを具備する湿式工程ハウジングと、前記湿式工程ハウジングの上部における噴射装置の間に設置される移送レールと、該移送レール上において移動可能に配置される挟持部材を具備する移送装置とを有することを特徴とする。【選択図】図１</p> |
