高精度激光刻蚀系统的接口控制卡

摘要

本发明提供一种高精度激光刻蚀系统的接口控制卡，包括I/O信号转接模块、实时位置比较及出光信号逻辑控制模块、光闸电机控制模块、激光器控制及激光器系统切换模块，I/O信号转接模块通过PCR-E96MD接口与上位机连接，实时位置比较及出光信号逻辑控制模块通过IDE接口与I/O信号转接模块连接，激光器控制及激光器系统切换模块也通过IDE接口与I/O信号转接模块连接，光闸电机控制模块通过IDC接口与I/O信号转接模块连接。该板卡提供所有外部设备运行状态的正确与否，并在控制加工平台运动的同时，读取当前平台所处的位置信息，通过与加工图形的位置比较，控制激光器的出光和关光。

主权项

1.高精度激光刻蚀系统的接口控制卡，其特征在于：包括I/O信号转接模块、实时位置比较及出光信号逻辑控制模块、光闸电机控制模块、激光器控制及激光器系统切换模块，I/O信号转接模块通过PCR-E96MD接口与上位机连接，实时位置比较及出光信号逻辑控制模块通过IDE接口与I/O信号转接模块连接，激光器控制及激光器系统切换模块也通过IDE接口与I/O信号转接模块连接，光闸电机控制模块通过IDE接口与I/O信号转接模块连接；I/O信号转接模块将外部设备的状态信息反馈给上位机，光闸电机控制模块控制外部光闸打开及关闭，实时位置比较及出光信号逻辑控制模块接收指令和数据，激光器控制及激光器系统切换模块对选定的激光器系统进行模式控制。