| 发明名称 | 金属薄板带连续进行表面真空镀膜装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于金属薄板带在真空条件下表面物理气相沉积的领域。一种金属薄板带连续进行表面真空镀膜装置，包括开卷机组(10)，其主要特点在于设置的真空镀膜室包括有1-5个A低真空室(20a)，1-3离子处理室(30)，1-5个B低真空室(40)，2-9个高真空室(50)，1-8个镀膜室(60)；1-5个A低真空室(20b)，室与室之间有法兰密封连接，并设有金属薄板带(1)通过的窗口(2)；各真空室与真空机组(90)相连；在真空镀膜室外还设有收卷机组(80)，连续镀膜的控制系统(100)。这种装置的优点在于：可在金属薄板带上镀多层膜、反应膜，膜层厚度可独立进行控制，膜层均匀致密，附着力强，工艺重复性好、生产效率高适合工业化生产。 | ||
| 申请公布号 | CN101649448A | 申请公布日期 | 2010.02.17 |
| 申请号 | CN200910166892.1 | 申请日期 | 2009.08.26 |
| 申请人 | 兰州大成自动化工程有限公司;兰州大成真空科技有限公司;常州大成绿色镀膜科技有限公司 | 发明人 | 范多望;范多进;孔令刚;令晓明 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 兰州振华专利代理有限责任公司 | 代理人 | 张 真 |
| 主权项 | 1.一种金属薄板带连续进行表面真空镀膜装置，包括开卷机组(10)，其特征在于设置的真空镀膜室包括有1-5个A低真空室(20a)，1-3离子处理室(30)，1-5个B低真空室(40)，2-9个高真空室(50)，1-8个镀膜室(60)；1-5个A低真空室(20b)，室与室之间有法兰密封连接，并设有金属薄板带(1)通过的窗口(2)；各真空室设置与真空机组(90)相连；在真空镀膜室外还设有收卷机组(80)，连续镀膜的控制系统(100)。 | ||
| 地址 | 730070甘肃省兰州市安宁西路88号 | ||