| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR INTERFERENZMESSUNG UND VORRICHTUNG ZUR INTERFERENZMESSUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT456022(T) |
申请公布日期 |
2010.02.15 |
| 申请号 |
AT20010932130T |
申请日期 |
2001.05.18 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
KAWAKAMI, JUN;SHIOZAWA, HISASHI |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/24;G01B11/00 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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