发明名称 Bildsensor und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要 Ein Bildsensor und ein Verfahren zu seiner Herstellung werden bereitgestellt. Gemäß einer Ausführungsform wird ein Halbleitersubstrat bereitgestellt, das eine Ausleseschaltung umfasst. Eine mit der Ausleseschaltung elektrisch verbundene Verbindung und ein Zwischenschichtdielektrikum sind über dem Halbleitersubstrat angeordnet. Eine Bilderfassungseinheit ist über dem Zwischenschichtdielektrikum angeordnet und umfasst eine erste Dotierungsschicht und eine zweite Dotierungsschicht, die darin gestapelt sind. Ein die Verbindung freilegendes erstes Durchkontaktierungsloch ist durch die Bilderfassungseinheit ausgebildet. Ein vierter Metallkontakt ist im ersten Durchkontaktierungsloch ausgebildet, um die Verbindung und die erste Dotierungsschicht elektrisch zu verbinden. Ein fünfter Metallkontakt ist über dem vierten Metallkontakt ausgebildet, wobei der fünfte Metallkontakt gegen den vierten Metallkontakt elektrisch isoliert und mit der zweiten Dotierungsschicht elektrisch verbunden ist.
申请公布号 DE102009034951(A1) 申请公布日期 2010.02.11
申请号 DE200910034951 申请日期 2009.07.28
申请人 DONGBU HITEK CO. LTD. 发明人 KIM, TAE GYU
分类号 H01L27/146;H01L21/283;H01L27/148;H04N5/335;H04N5/369;H04N5/372;H04N5/374 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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