METHOD FOR DETERMINING AN OVERALL LEAKAGE RATE OF A VACUUM SYSTEM AND VACUUM SYSTEM

摘要

Ein Verfahren zur Bestimmung einer Gesamt-Leckrate einer Vakuumanlage kann kontinuierlich oder zyklisch durchgeführt werden. Die Vakuumanlage weist zumindest eine Prozesskammer (10) und eine mit der Prozesskammer (10) verbundene Pumpeinrichtung (16) auf. Bei einem erfindungsgemäßen zyklischen Bestimmungsverfahren erfolgen die folgenden Schritte: Unterbinden einer Prozessgas-Zufuhr zu der Prozesskammer (10), Zufuhr eines Trägergases in die Prozesskammer (10), Fördern des Trägergases und eines Leckagegases mittels der Pumpeinrichtung (16), Messen eines Gehalts einer Gaskomponente des gepumpten Gases, und Bestimmen der Gesamt-Leckrate der Vakuumanlage auf Basis des gemessenen Gehalts der Gaskomponente.