| 发明名称 |
Förfarande för plasmaaktiverad kemisk ångdeponering och plasmasönderdelningsenhet |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SE532505(C2) |
申请公布日期 |
2010.02.09 |
| 申请号 |
SE20070002770 |
申请日期 |
2007.12.12 |
| 申请人 |
PLASMATRIX MATERIALS AB |
发明人 |
VLADIMIR KOUZNETSOV;AAKE HJALMARSSON;MIHAI NICOLESCU;KLIM KOUZNETSOV |
| 分类号 |
C23C16/515;C23C16/44;C23C16/52;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/515 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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