| 发明名称 |
FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV MYCKET FINA GEOMETRISKA MOENSTER OCH STRUKTURER AV ALUMINIUMSKIKT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SE333288(B) |
申请公布日期 |
1971.03.08 |
| 申请号 |
SE19670001930 |
申请日期 |
1967.02.10 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
GOETZELER H;STEPPBERGER A |
| 分类号 |
C23C14/04;C23F1/00;H01L21/60;H01L23/485;H01L23/532;(IPC1-7):23C13/02;23F1/02;23C17/00 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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